高階光罩傳載解決方案
光罩清洗機
機台功能
應用於光罩自動化潔淨設備，可清洗光罩的玻璃面、膜面與條碼兩側區域，有效清潔光罩上的微塵與玻璃面HAZE汙染，快速讓光罩恢復生產。
- 光罩玻璃面，使用水洗清潔
- 光罩膜面，使用針式風刀清潔
- 光罩條碼兩側區域清潔
- 6寸光罩盒與RSP 150交換功能
- 支援E84天車傳送
- SECS/GEM 200/300
- 機台認證：SEMI S2 & 耐震驗證
大尺寸光罩清洗機
清洗光罩尺寸
520*800mm光罩（光罩清洗尺寸可客制化開發）
Glass side清洗
- DI water&無塵布配合機構的線性動作清潔
- 清洗時光罩pellicle面朝上，光罩夾頭夾持(周圍有抗靜電膠條保護)，避免清洗時，DI water影響pellicle面
光罩交換機
機台功能
光罩在載具間自動化交換設備
- 支援POD OHT傳送
- 光罩轉向與目檢功能
- CCD光罩Barcode讀取
- Barcode條碼列印功能
- 可自動判別光罩盒種類(塑膠或金屬)、放置方向及正反面，確認動作可順利進行
- 支援E84天車傳送
- SECS/GEM 200/300
- 機台認證：SEMI S2 & 耐震驗證
