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EUV 光罩傳載解決方案

全自動EUV POD 表面檢查機／EUV光罩側邊檢查機

機台功能

應用於EUV POD-EIP表面缺陷檢查功能，利用影像拍攝EIP 上蓋/下蓋，自動檢驗表面缺陷或微塵，有助於EIP品質管理。

  • 支援EUV POD載具開盒
  • 檢查EUV POD (EIP)上蓋與下蓋
  • 整合AI影像辨識功能，針對缺陷檢查結果進行分類
  • 支援E84天車傳送
  • SECS/GEM 200/300
  • 機台認證：SEMI S2 & 耐震驗證

EUV Lite Exchanger

機台功能

提供EUV光罩在載具間自動化交換、存取與儲存，支援連續充氣功能(N2充氣)，確保EUV光罩儲存品質與潔淨度。

  • 每個儲位獨立充氣及流量控制
  • 支援OHT傳送（SEMI E84）
  • SECS/GEM 200/300
  • 機台認證：SEMI S2 & 耐震驗證

EUV光罩交換機

機台功能

使用於RSP200光罩盒與EUV光罩盒間交換

  • 支援POD RFID及BARCODE自動讀取功能
  • 六軸節式手臂，可做多角度及萬向動作
  • 光罩影像拍照功能

EUV光罩清潔機

機台功能

真空吸塵及XCDA風刀吹氣清潔

  • 光罩正/反面清潔
  • 1D/2D Barcode auto read
  • SECS/GEM 200/300
  • 機台認證：SEMI S2 & 耐震驗證