2022 ~ 20232022年合併營收突破十億 / 2023年更名為家碩科技股份有限公司

• 2022年合併營收突破十億
• 2023年更名為家碩科技股份有限公司

• EUV光罩交換/長期儲存方案，取得SEMI S2認證導入市場
• EUV光罩交換設備導入市場
• EUV倉儲整合自動化系統導入市場
• 產品及技術服務全球化拓展: 美洲、東亞、東南亞、歐洲及西亞

2020 ~ 20212020年收購昇和精技(股)公司 / 擴廠搬遷至台南樹谷園區

• 2020年收購昇和精技(股)公司
• 擴廠搬遷至台南樹谷園區

• EUV微環境充氣倉儲，技術延伸整合廠區管路系統
• EUV光罩載具智慧檢測設備，取得SEMI S2認證導入市場
• EUV光罩高潔淨技術導入市場
• 光罩傳送驛站導入美系大廠之製造整合應用
• 業務拓展PVD真空鍍膜及相關設備

2016 ~ 20192016.7.18 由家登精密投資設立

• 2016.7.18 由家登精密投資設立

• EUV微環境充氣製程技術開發
• 光罩儲存管理設備導入市場
• 高階光罩潔淨設備，取得SEMI S2認證導入市場
• 光罩交換設備導入市場